产品名称：设备控制 I/O 接口板卡产品简介：半导体设备主控系统与现场设备的信号交互接口板，实现数字 / 模拟信号的采集与控制输出。技术规格
- 输入通道：16 路数字量 + 8 路模拟量
- 输出通道：16 路数字量 + 4 路模拟量
- 模拟量范围：0～10V/4～20mA
- 通信接口：RS485/DeviceNet
- 工作电压：24VDC
- 防护等级：IP20（设备内部安装）功能特点
- 光电隔离，抗电磁干扰能力强
- 信号实时采集与高速响应
- 支持热插拔，在线维护不影响运行
- 兼容原厂控制系统，即插即用
- 故障诊断与状态反馈功能应用场景
- 半导体设备传感器、执行器信号连接
- 设备主控系统与腔体单元通信
- PVD、CVD、Etch 等设备控制单元
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 