产品名称：Precision 5000 系列腔体密封盖组件产品简介：AMAT Precision 5000 CVD 设备专用腔体密封盖，实现腔体真空密封与工艺环境隔离。技术规格
- 材质：阳极氧化铝 + 氟橡胶密封
- 密封形式：双 O 型圈真空密封
- 耐压：≥1×10⁻⁹ Torr
- 工作温度：-20℃～250℃
- 平面度：≤0.02mm
- 适配腔体：Precision 5000 系列 200mm 腔体功能特点
- 高真空密封性能，无泄漏、无渗透
- 耐化学腐蚀与等离子体环境
- 快速拆装，便于腔体维护与清洁
- 内置冷却流道，控制腔体温度
- 标准化设计，原厂精准匹配应用场景
- AMAT Precision 5000 CVD 设备腔体
- 氧化硅、氮化硅、金属钨薄膜沉积
- 200mm 晶圆成熟制程生产线
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 