产品名称：腔体气体分配器组件产品简介：工艺气体均匀分配部件，将多路气体精准混合并均匀送入反应腔，提升工艺均匀性。技术规格
- 材质：高纯铝合金 / 不锈钢
- 流道数量：4～8 路（定制）
- 流量控制精度：±1%
- 混合均匀性：≤±2%
- 耐压：≥1000psi
- 适配气体：惰性 / 反应性气体兼容功能特点
- 气体预混合，保证腔体入口气体成分均匀
- 流道优化设计，无死角、无滞留
- 耐腐蚀，适配多种工艺气体
- 模块化设计，便于维护与清洁
- 支持流量在线监测与调节应用场景
- CVD、ALD、PECVD 薄膜沉积设备
- 半导体制程气体混合与分配系统
- 先进逻辑、存储芯片制造工艺
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 