产品名称:晶圆传输定位销组件产品简介:晶圆传输系统精密定位部件,确保晶圆在传输与工艺过程中位置精准、无偏移。技术规格
- 材质:硬质合金 / 不锈钢
- 定位精度:≤0.005mm
- 表面硬度:≥HRC60
- 适配尺寸:200mm/300mm 晶圆
- 安装方式:压入 / 螺纹紧固功能特点
- 高耐磨、抗冲击,长期使用无磨损变形
- 精密尺寸公差,保证定位一致性
- 防静电处理,避免晶圆静电损伤
- 无毛刺、无锐边,防止晶圆划伤
- 标准化设计,兼容多系列传输设备应用场景
- 晶圆机械手、真空传输模块定位
- 制程腔体晶圆进出定位系统
- 半导体自动化产线晶圆传输单元




AMAT 0190-03068-001
AMAT 0200-36122
AMAT 0100-09126
AMAT 0100-02715