产品名称：晶圆传输定位销组件产品简介：晶圆传输系统精密定位部件，确保晶圆在传输与工艺过程中位置精准、无偏移。技术规格
- 材质：硬质合金 / 不锈钢
- 定位精度：≤0.005mm
- 表面硬度：≥HRC60
- 适配尺寸：200mm/300mm 晶圆
- 安装方式：压入 / 螺纹紧固功能特点
- 高耐磨、抗冲击，长期使用无磨损变形
- 精密尺寸公差，保证定位一致性
- 防静电处理，避免晶圆静电损伤
- 无毛刺、无锐边，防止晶圆划伤
- 标准化设计，兼容多系列传输设备应用场景
- 晶圆机械手、真空传输模块定位
- 制程腔体晶圆进出定位系统
- 半导体自动化产线晶圆传输单元
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 