产品名称：工艺气体输送管路总成产品简介：半导体设备高纯工艺气体输送专用管路组件，保障气体无泄漏、无污染、稳定输送。技术规格
- 材质：316L 电解抛光不锈钢
- 管径：1/4"～1/2"（标准）
- 耐压：≥1500psi
- 洁净度：≤0.1μm 颗粒过滤
- 连接方式：VCR/VCO 面密封
- 工作温度：-40℃～150℃功能特点
- 超低泄漏率，满足超高纯气体输送要求
- 内壁光滑无死角，减少气体滞留与污染
- 耐腐蚀，适配腐蚀性工艺气体
- 标准化接口，快速安装与替换
- 支持在线吹扫与检漏应用场景
- CVD、ALD、Etch 等工艺气路系统
- 半导体前道制程高纯气体输送
- 特种气体（如 SiH₄、NH₃、WF₆）输送管路
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 