产品名称：气体质量流量控制器（MFC）驱动模块产品简介：半导体工艺气体质量流量控制器的专用驱动单元，实现 MFC 的精准控制与信号反馈。技术规格
- 控制信号：0～5V/4～20mA
- 输出功率：≤50W
- 响应时间：≤20ms
- 通信接口：RS485/DeviceNet
- 工作电压：24VDC
- 防护等级：IP20（设备内部安装）功能特点
- 高精度闭环控制，流量稳定无波动
- 快速响应，实时调节气体流量
- 多重保护，过压、过流、短路保护
- 支持远程监控与参数校准
- 兼容主流 MFC 品牌与型号应用场景
- CVD、ALD、Etch 工艺气体控制系统
- 半导体前道制程气路 MFC 驱动
- 高纯特种气体精密流量控制
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 