产品名称：静电卡盘（ESC）绝缘支撑组件产品简介：静电卡盘系统的核心绝缘与支撑部件，保证静电吸附的稳定性与晶圆定位精度。技术规格
- 材质：高纯氧化铝陶瓷
- 绝缘电阻：≥10¹²Ω
- 耐压等级：≥5kV DC
- 平面度：≤0.01mm
- 工作温度：-20℃～300℃
- 适配：200mm/300mm 静电卡盘功能特点
- 高绝缘强度，杜绝高压放电
- 均匀支撑，保证晶圆吸附平整
- 耐温、耐等离子体环境
- 低释气率，维持腔体洁净度
- 精密尺寸，保证定位一致性应用场景
- PVD、CVD、Etch 设备静电卡盘系统
- 晶圆高压吸附定位工艺
- 先进半导体制程腔体内部件
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 