产品名称：设备电源分配管理模块产品简介：半导体设备的电源分配与管理核心单元，实现多路电源的稳定输出、保护与监控。技术规格
- 输入电压：三相 380V AC / 单相 220V AC
- 输出通道：8 路直流 + 4 路交流
- 直流输出：24V/48V DC，电流 0～20A
- 交流输出：220V AC，功率≤5kW
- 保护功能：过压、过流、短路、欠压保护
- 通信接口：RS232/Modbus功能特点
- 多路电源独立控制，互不干扰
- 高精度稳压，输出纹波≤1%
- 实时监控电压、电流、功率
- 故障报警与自动保护，保障设备安全
- 支持远程控制与参数设置应用场景
- 半导体设备主控系统、腔体单元供电
- 传感器、执行器、伺服驱动电源分配
- PVD、CVD、Etch 等设备电源管理系统
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 