产品名称：真空腔体节流阀组件产品简介：半导体真空腔体专用精密节流控制部件，用于精准调节腔体内部真空度与气体流量，适配高洁净、高真空工艺环境。技术规格
- 阀体材质：316L 不锈钢 / 铝合金阳极氧化
- 通径规格：1/2"～2"（标准）
- 控制方式：气动 / 电动闭环控制
- 调节精度：流量调节精度 ±1%
- 真空适配：≤1×10⁻⁹ Torr
- 工作温度：-20℃～150℃
- 密封形式：全氟醚 O 型圈密封功能特点
- 线性流量调节，响应速度快、无滞后
- 高密封性能，无泄漏、无气体滞留
- 耐腐蚀，适配腐蚀性工艺气体
- 内置位置反馈，实现精准闭环控制
- 模块化设计，便于安装、维护与清洁应用场景
- PVD、CVD、ALD 等真空制程腔体
- 刻蚀、离子注入设备真空控制系统
- 半导体真空传输腔、负载锁腔流量调节
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 