产品名称：晶圆传输机械手关节组件产品简介：半导体晶圆自动化传输机械手的核心关节部件，保障机械手运动灵活、定位精准，适配高洁净真空环境。技术规格
- 材质：航空级铝合金 + 硬质涂层
- 关节类型：旋转 / 摆动复合关节
- 运动精度：角度重复定位精度≤0.01°
- 负载能力：≤5kg（300mm 晶圆）
- 防护等级：IP65（真空侧）
- 润滑方式：真空专用干膜润滑功能特点
- 高刚性、轻量化设计，运动无抖动、响应快
- 低摩擦、长寿命，免维护周期长
- 防静电处理，杜绝晶圆静电损伤
- 精密传动，运动平稳、无冲击
- 标准化接口，兼容多系列 AMAT 机械手应用场景
- 半导体晶圆真空传输机械手系统
- PVD、CVD、Etch 设备晶圆进出单元
- 12 英寸晶圆自动化产线传输系统
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 