产品名称：真空腔体安全联锁开关组件产品简介：半导体真空腔体专用安全联锁部件，用于监测腔体门盖状态，保障设备与操作人员安全。技术规格
- 开关类型：机械式 / 磁感应式复合开关
- 触点容量：24VDC/5A
- 防护等级：IP65（真空侧）
- 工作温度：-20℃～120℃
- 安装方式：嵌入式 / 表面安装
- 寿命：≥100 万次动作功能特点
- 高可靠性，动作精准、无故障
- 双重联锁设计，安全冗余度高
- 耐真空、耐腐蚀，适配腔体环境
- 快速响应，状态反馈实时
- 与设备控制系统联动，强制安全保护应用场景
- 半导体真空反应腔、传输腔门盖联锁
- 设备维护、检修安全保护系统
- PVD、CVD、Etch 设备安全联锁单元
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 