产品名称：300mm 晶圆负载锁接口模块产品简介：300mm 晶圆负载锁（Load Lock）专用 PCB 接口模块，实现机台控制系统与机械 / 气动部件的信号转换、隔离与分配。技术规格
- 板卡类型：高密度信号转接 PCB
- 接口类型：Phoenix/TE 标准针座连接器
- 信号通道：32 路数字量 + 8 路模拟量
- 工作电压：24VDC
- 通信接口：RS485/DeviceNet
- 防护等级：IP20（设备内部安装）功能特点
- 信号光电隔离，抗电磁干扰能力强
- 高速信号传输，响应时间≤5ms
- 故障诊断与状态反馈功能
- 支持热插拔，在线维护不影响运行
- 兼容 300mm 晶圆平台多代设备应用场景
- 300mm 晶圆负载锁腔室控制与状态监测
- 半导体设备真空传输系统信号转接
- PVD、CVD、Etch 设备负载锁单元控制
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 