产品名称：真空传输机械手末端执行器产品简介：半导体晶圆自动化传输系统的核心执行部件，负责晶圆的精准抓取、搬运与定位，适配高洁净真空环境。技术规格
- 材质：航空级铝合金 + 防静电涂层
- 负载能力：≤5kg（300mm 晶圆）
- 定位精度：≤0.01mm
- 重复定位精度：≤0.005mm
- 适配尺寸：200mm/300mm 晶圆
- 工作环境：真空 / 常压兼容功能特点
- 轻量化高刚性设计，运动响应快、无抖动
- 防静电处理，杜绝晶圆静电损伤
- 精密夹持力控制，避免晶圆划伤
- 内置传感器，实时反馈抓取状态
- 标准化接口，兼容多系列传输设备应用场景
- 半导体晶圆真空传输模块、机械手系统
- PVD、CVD、Etch 等制程设备晶圆进出单元
- 12 英寸晶圆自动化产线传输系统
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 