产品名称：设备状态监控与通信模块产品简介：半导体设备专用通信与监控单元，实现设备状态采集、数据传输与远程监控，保障设备稳定运行。技术规格
- 通信接口：RS232、RS485、Ethernet
- 协议支持：Modbus、TCP/IP、OPC UA
- 采集通道：16 路数字量 + 8 路模拟量
- 工作电压：24VDC
- 防护等级：IP20
- 工作温度：-10℃～60℃功能特点
- 实时采集设备运行状态与工艺参数
- 高速数据传输，响应时间≤10ms
- 远程监控与故障诊断，支持数据存储
- 抗电磁干扰，适配复杂工业环境
- 兼容 AMAT 主流设备控制系统应用场景
- 半导体设备远程监控与数据采集
- 设备状态预警与故障诊断系统
- 工厂自动化（FA）与 MES 系统对接
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 