产品名称：射频隔离器组件（300mm 制程专用）产品简介：半导体射频制程设备专用射频隔离部件，用于隔离射频信号反射，保护射频电源与腔体负载，提升射频系统稳定性与功率传输效率。技术规格
- 工作频段：13.56MHz/2MHz（标准）
- 功率容量：≥10kW
- 隔离度：≥30dB
- 插入损耗：≤0.5dB
- 接口形式：N 型 / 7/16" 射频接头
- 工作温度：-10℃～60℃
- 防护等级：IP20（设备内部安装）功能特点
- 高隔离度，有效抑制射频信号反射
- 低插入损耗，保证射频功率高效传输
- 耐高压、耐高温，适配恶劣射频工况
- 多重保护，过压、过流、驻波保护
- 兼容 AMAT 主流射频电源与腔体负载应用场景
- PECVD、RIE、ICP 等射频驱动制程设备
- 半导体射频电源输出端隔离保护
- 设备射频系统稳定性优化
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 