产品名称：横河 ADMAG AXF 系列电磁流量计（3/4 英寸口径）产品简介：半导体高纯工艺气体 / 液体输送系统专用高精度电磁流量计，基于双频励磁技术，实现导电介质的精准流量测量。技术规格
- 口径规格：3/4 英寸（DN20）
- 测量范围：0.1～10m/s
- 精度等级：±0.35% FS
- 介质电导率：＞1μS/cm
- 衬里材质：PFA（耐化学腐蚀）
- 电极材质：SUS316L / 哈氏合金
- 输出信号：4～20mA / 脉冲输出
- 防护等级：IP67功能特点
- 双频励磁技术，消除流体噪声，测量稳定
- 可更换电极设计，便于维护与清洁
- 电极污染程度诊断功能，提前预警维护
- 耐化学腐蚀，适配多种高纯工艺介质
- 宽温域工作，适配复杂工业环境应用场景
- 半导体高纯化学品、去离子水输送系统
- PVD、CVD、Etch 设备工艺介质流量监测
- 晶圆清洗、湿法刻蚀设备流量控制
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 