产品名称：数字量输出控制板卡产品简介：半导体设备专用数字量输出控制核心板卡，负责设备执行器驱动、逻辑控制与状态反馈，适配高可靠工业控制场景。技术规格
- 输出通道：32 路隔离数字量输出（继电器 / 晶体管）
- 触点容量：24VDC/5A（继电器）
- 响应时间：≤5ms
- 通信接口：RS485、DeviceNet
- 工作电压：24VDC
- 防护等级：IP20（设备内部安装）功能特点
- 全通道光电隔离，抗电磁干扰能力强
- 高驱动能力，适配多种执行器负载
- 故障自诊断与状态反馈，快速定位异常
- 热插拔设计，在线维护不影响生产
- 兼容 AMAT 主流设备控制系统，即插即用应用场景
- 半导体设备阀门、泵浦、电机等执行器驱动
- PVD、CVD、Etch 设备数字量控制单元
- 设备安全联锁、报警系统控制
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-02715 