产品名称：模拟量输入控制板卡产品简介：半导体设备专用模拟量信号采集与控制核心板卡，负责设备模拟量传感器信号采集、信号调理与数据传输，适配高可靠工业控制场景。技术规格
- 输入通道：16 路隔离模拟量输入（0～10V/4～20mA）
- 分辨率：16 位
- 采样速率：100kSPS
- 精度等级：±0.1% FS
- 通信接口：RS485、EtherNet/IP
- 工作电压：24VDC
- 防护等级：IP20（设备内部安装）功能特点
- 全通道光电隔离，抗电磁干扰能力强
- 高精度信号采集，数据精准可靠
- 信号滤波与调理，提升信号质量
- 故障自诊断与状态反馈，快速定位异常
- 兼容 AMAT 主流设备控制系统，即插即用应用场景
- 半导体设备温度、压力、流量等模拟量监测
- PVD、CVD、Etch 设备工艺参数采集
- 设备闭环控制系统信号输入单元
AMAT 0190-03068-001 
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 