产品名称：真空腔体气动阀门驱动组件产品简介：半导体真空腔体专用气动阀门驱动部件，为真空阀门提供精准、可靠的开关动力，适配高洁净、高真空工艺环境。技术规格
- 驱动方式：气动双作用
- 工作压力：0.4～0.8MPa
- 开关时间：≤1s
- 适用阀门：1/2"～2" 真空球阀 / 角阀
- 防护等级：IP65（真空侧）
- 工作温度：-20℃～150℃
- 寿命：≥100 万次动作功能特点
- 高可靠性，动作精准、无故障
- 快速开关，响应速度快
- 耐真空、耐腐蚀，适配腔体环境
- 双重密封设计，无泄漏
- 与设备控制系统联动，实现自动控制应用场景
- 半导体真空反应腔、传输腔阀门驱动
- PVD、CVD、Etch 设备真空管路控制
- 高纯工艺气体输送系统阀门控制
AMAT 0200-36122 
AMAT 0100-09126 
AMAT 0100-02715 