产品名称:真空腔体气动阀门驱动组件产品简介:半导体真空腔体专用气动阀门驱动部件,为真空阀门提供精准、可靠的开关动力,适配高洁净、高真空工艺环境。技术规格
- 驱动方式:气动双作用
- 工作压力:0.4~0.8MPa
- 开关时间:≤1s
- 适用阀门:1/2"~2" 真空球阀 / 角阀
- 防护等级:IP65(真空侧)
- 工作温度:-20℃~150℃
- 寿命:≥100 万次动作功能特点
- 高可靠性,动作精准、无故障
- 快速开关,响应速度快
- 耐真空、耐腐蚀,适配腔体环境
- 双重密封设计,无泄漏
- 与设备控制系统联动,实现自动控制应用场景
- 半导体真空反应腔、传输腔阀门驱动
- PVD、CVD、Etch 设备真空管路控制
- 高纯工艺气体输送系统阀门控制




AMAT 0200-36122
AMAT 0100-09126
AMAT 0100-02715