产品名称：真空气动角阀驱动执行器产品简介：半导体高真空角阀专用气动驱动装置，为阀门提供快速、稳定、可靠的开关动作，适配高纯气体与真空环境。技术规格
- 驱动形式：气动双作用
- 工作气压：0.4～0.8MPa
- 开关时间：≤0.5s
- 适用阀门：1/4"～1" 高真空角阀
- 密封材质：FFKM 全氟醚橡胶
- 动作寿命：≥100 万次功能特点
- 动作快速平稳，无冲击、无卡顿
- 零泄漏设计，满足超高真空要求
- 耐腐蚀，适配各类腐蚀性工艺气体
- 具备位置反馈信号输出
- 结构坚固，适应长期高频次动作应用场景
- 半导体真空系统、工艺气路管路阀门
- CVD、刻蚀、PVD 设备真空与气体控制
- 负载锁、传输腔真空通道控制
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 