产品名称：腔体压力控制调节阀组件产品简介：用于半导体真空腔体内部压力精确调节的控制阀，通过调节气体流量稳定腔体压力，保证制程一致性。技术规格
- 控制方式：气动比例调节
- 调节范围：0.1Torr～1000Torr
- 控制精度：±0.5%
- 阀体材质：316L 不锈钢
- 密封形式：全氟醚密封
- 工作温度：-10℃～120℃功能特点
- 线性比例调节，压力控制平稳精准
- 响应速度快，适应动态工艺变化
- 耐腐蚀、耐粉尘、易清洁
- 无机械卡滞，长期运行稳定
- 可与设备控制系统实现闭环压力调节应用场景
- 半导体真空腔体压力闭环控制
- 刻蚀、沉积、清洗设备压力调节
- 高真空 / 低真空转换制程压力控制
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0020-34587 