产品名称：气体质量流量控制器控制主板产品简介：用于半导体工艺气体质量流量控制器（MFC）的核心控制电路板，负责流量采集、运算、输出控制与通信，保证气体流量稳定精准。技术规格
- 控制精度：±0.5% FS
- 响应时间：≤20 ms
- 通信接口：RS485、DeviceNet、模拟量
- 工作电压：24 VDC
- 适用流量范围：5 sccm～50 slm
- 信号输入：0～5 V、4～20 mA功能特点
- 全数字闭环控制，流量输出稳定无波动
- 多重校准算法，长期使用精度不漂移
- 抗电磁干扰能力强，适配复杂设备环境
- 支持远程校准、参数读取与故障诊断
- 兼容多型号 MFC 传感器与阀体应用场景
- CVD、ALD、Etch、PVD 设备工艺气路
- 半导体高纯气体精密配比与输送系统
- 实验室及量产线气体流量控制单元
AMAT 0050-41405 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 