产品名称：真空腔体加热绝缘底座组件产品简介：用于高温加热腔体底部的绝缘支撑部件，提供结构支撑、高压电气绝缘与热稳定性，适用于高真空高温环境。技术规格
- 材质：高纯氧化铝陶瓷
- 绝缘电阻：≥10¹² Ω
- 耐压：≥5 kV DC
- 工作温度：-20℃～600℃
- 平面度：≤0.01 mm
- 真空适配：≤1×10⁻⁹ Torr功能特点
- 超高绝缘强度，杜绝漏电、打火
- 耐高温、长期使用不脆化、不变形
- 超低释气，保持腔体高洁净度
- 机械强度高，抗震、抗冲击
- 精密加工，装配一致性高应用场景
- 加热基座、射频腔体绝缘支撑
- PVD、CVD、ALD 高温制程腔体
- 高真空电气绝缘结构部件
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 