产品名称：晶圆支撑销导向套组件产品简介：用于晶圆升降销的精密导向套筒，保证升降销垂直运动、无偏摆、无卡顿，减少颗粒产生。技术规格
- 材质：自润滑陶瓷、不锈钢
- 内孔精度：≤0.003 mm
- 表面粗糙度：Ra ≤0.1 μm
- 工作温度：-20℃～350℃
- 适配销径：3 mm～6 mm功能特点
- 自润滑，无需油脂，不污染腔体
- 低摩擦、低粉尘、高耐磨
- 导向精度高，运行平稳
- 真空环境兼容
- 使用寿命长应用场景
- 加热基座、静电卡盘升降销导向
- 刻蚀、沉积腔体升降机构
- 高真空晶圆支撑系统
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AMAT 0020-79705
2026-02-27 09:52 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0020-79705
品牌AMAT
型号0020-79705
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