产品名称：静电卡盘边缘环组件产品简介：安装在静电卡盘外围的屏蔽与均流环，用于均匀电场、改善等离子体分布、保护 ESC 边缘不被腐蚀。技术规格
- 材质：高纯陶瓷、碳化硅
- 尺寸精度：±0.01 mm
- 耐温：≤600℃
- 真空适配：≤1×10⁻⁹ Torr
- 表面处理：精密研磨功能特点
- 均匀电场分布，提升吸附稳定性
- 保护 ESC 边缘，延长使用寿命
- 改善晶圆边缘工艺均匀性
- 耐等离子体腐蚀
- 安装简便，定位精准应用场景
- 静电卡盘（ESC）外围配套
- 刻蚀、PVD、CVD 设备腔体
- 先进制程晶圆夹持系统
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AMAT 0200-09244
2026-02-27 09:52 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0200-09244
品牌AMAT
型号0200-09244
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