产品名称：腔体加热电极组件产品简介：用于真空加热腔体的内置加热电极，提供稳定加热功率，保证温度均匀分布。技术规格
- 加热方式：电阻加热
- 功率：1～5 kW
- 控温范围：室温～600℃
- 绝缘强度：≥5 kV DC
- 材质：不锈钢、镍铬合金、陶瓷绝缘功能特点
- 加热均匀，温度梯度小
- 升温速度快，热效率高
- 高绝缘设计，安全可靠
- 低释气、高洁净
- 寿命长、稳定性强应用场景
- PVD、CVD、ALD 加热腔体
- 晶圆退火、氧化工艺
- 半导体高温制程设备
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AMAT 0040-62413
2026-02-27 09:53 已有人浏览 小编
分类Amat
产品AMAT 0040-62413
品牌AMAT
型号0040-62413
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