产品名称:真空腔体定位锁紧块组件产品简介:用于腔体上下盖、腔室组件之间的精密定位与锁紧结构件,保证装配精度与真空密封。技术规格
- 材质:不锈钢、高强度铝合金
- 定位精度:≤0.005 mm
- 表面硬度:≥HRC 55
- 工作温度:-20℃~150℃
- 适配腔体:200mm/300mm 标准腔体功能特点
- 定位精准,重复拆装精度不衰减
- 高强度,锁紧可靠不变形
- 耐腐蚀、耐振动
- 结构紧凑,安装空间小
- 符合设备原厂装配标准应用场景
- 真空反应腔、传输腔装配定位
- 腔体法兰、盖板锁紧固定
- 半导体高真空设备结构件
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分类Amat
产品AMAT 0020-27383
品牌AMAT
型号0020-27383
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