产品名称：腔体内部定位导向块组件产品简介：用于半导体真空腔体内部部件的精密定位与导向结构件，确保腔体组件装配精度与运行稳定性，适用于高真空、高洁净度工艺环境。技术规格
- 材质：高强度铝合金 / 不锈钢
- 定位精度：≤0.005 mm
- 表面硬度：≥HRC 55
- 表面处理：阳极氧化 / 钝化处理
- 工作温度：-20℃～150℃
- 真空适配：≤1×10⁻⁹ Torr功能特点
- 定位精准可靠，重复拆装不降低精度
- 结构刚性强，长期使用不变形、不偏移
- 耐磨损、耐腐蚀、抗振动性能优异
- 超低释气率，不污染腔体内部环境
- 标准化结构，安装与更换便捷应用场景
- 真空反应腔、传输腔内部组件定位
- 腔体法兰、盖板、内衬定位锁紧
- 半导体高真空设备精密结构装配
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 