产品名称：腔体温度传感器安装座产品简介：用于真空腔体、加热基座温度探头的专用安装固定组件，提供密封、定位与导热功能，确保温度采集精准可靠。技术规格
- 材质：316L 不锈钢
- 密封形式：金属密封 + 氟橡胶密封
- 适用真空度：≤1×10⁻⁹ Torr
- 工作温度：-50℃～800℃
- 定位精度：≤0.01mm
- 适配探头：PT100 / 热电偶功能特点
- 真空密封可靠，不破坏腔体真空状态
- 导热迅速，温度采集响应快
- 固定牢固，抗震抗振动不松动
- 耐腐蚀，适应腔体化学气氛
- 标准化接口，适配原厂温度探头应用场景
- 真空腔体、加热基座温度监测
- PVD、CVD、刻蚀设备温控系统
- 高温制程腔体实时温度采集
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 