产品名称：腔体加热电极绝缘基座产品简介：用于半导体真空腔体加热电极的绝缘支撑部件，提供高压电气隔离与结构固定，适配高温、高真空、高电压复合工况。技术规格
- 材质：高纯氧化铝陶瓷
- 绝缘电阻：≥10¹² Ω
- 额定耐压：≥5 kV DC
- 工作温度：-20℃～600℃
- 适用真空度：≤1×10⁻⁹ Torr
- 平面度：≤0.01 mm功能特点
- 高压绝缘稳定，杜绝漏电、击穿、打火
- 耐高温与冷热冲击，长期使用不开裂
- 超低释气，维持腔体高洁净环境
- 机械强度高，抗震抗压不变形
- 精密尺寸，装配一致性高应用场景
- PVD、CVD、ALD 腔体加热电极绝缘
- 等离子体刻蚀设备高温绝缘支撑
- 半导体前道制程高真空电气绝缘系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 