产品名称：真空规管信号调理模块产品简介：用于电容式 / 皮拉尼真空规管的信号采集、放大、线性化与变送模块，为设备真空系统提供稳定标准信号输出。技术规格
- 输入：真空规管模拟信号
- 输出：4～20 mA / 0～10 V
- 精度：±0.25% FS
- 响应时间：≤10 ms
- 供电：24 VDC
- 工作温度：0℃～60℃功能特点
- 信号采集稳定，无漂移无噪声
- 抗电磁干扰能力强
- 支持多种规管型号自动匹配
- 具备过流、反接保护
- 模块化即插即用应用场景
- 半导体腔体真空监测
- 真空机械手、Load Lock 真空控制
- 刻蚀、沉积、离子注入设备真空系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 