产品名称：气体质量流量控制器控制阀组件产品简介：半导体工艺气体质量流量控制器内部核心控制阀部件，用于对工艺气体进行高精度流量调节与稳定控制，保障气体流量输出精准可靠。技术规格
- 控制方式：电磁比例控制
- 流量调节范围：5sccm～50slm
- 控制精度：±0.5% FS
- 响应时间：≤20ms
- 阀体材质：316L EP 级电解抛光不锈钢
- 密封材质：FFKM 全氟醚橡胶
- 工作温度：-10℃～80℃功能特点
- 流量调节线性度高，输出稳定无波动
- 超低死体积设计，避免气体残留与交叉污染
- 耐腐蚀性能优异，适配各类腐蚀性工艺气体
- 开关响应迅速，满足动态工艺气体配比需求
- 结构紧凑，可直接集成于各类质量流量控制器应用场景
- 半导体 CVD、ALD、Etch、PVD 设备工艺气路系统
- 高纯特种气体精密计量与流量控制装置
- 实验室及量产线气体混气与输送控制系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 