产品名称：真空腔体内部定位销组件产品简介：用于半导体真空腔体内部各组件之间精密定位的结构部件，确保腔体内部件装配位置精准，维持设备运行精度与真空密封性。技术规格
- 材质：不锈钢 316L
- 表面硬度：≥HRC 55
- 定位精度：±0.005mm
- 表面粗糙度：Ra≤0.2μm
- 工作温度：-20℃～150℃
- 适用真空度：≤1×10⁻⁹ Torr功能特点
- 定位精准可靠，重复拆装不降低定位精度
- 高强度耐磨材质，长期使用不磨损、不变形
- 超低释气率，不污染腔体内部高洁净环境
- 抗振动、抗冲击，适配设备长期运行工况
- 标准化尺寸，通用性强，安装更换便捷应用场景
- 真空反应腔、传输腔内部组件定位
- 腔体法兰、喷淋头、内衬等部件定位固定
- 半导体高真空设备精密结构装配系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 