产品名称：高精度模拟量信号采集模块产品简介：半导体设备专用模拟量信号采集处理模块，用于对温度、压力、流量、功率等模拟量信号进行高精度采集、隔离与变送。技术规格
- 输入信号：0～5V、0～10V、4～20mA
- 输出信号：RS485、Modbus、0～10V
- 采集精度：±0.1% FS
- 通道数：6 路差分模拟量输入
- 隔离电压：≥2500Vrms
- 工作电压：24VDC
- 工作温度：0℃～60℃功能特点
- 多通道同步采集，数据实时性强
- 全通道光电隔离，有效抑制电磁干扰
- 信号线性度高，采集数据精准无失真
- 支持远程校准与参数配置
- 故障自诊断，便于快速定位异常应用场景
- 半导体设备传感器信号采集系统
- 真空、温度、流量、压力等工艺参数监测
- 设备自动化控制系统数据采集单元
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 