产品名称：真空机械手关节支撑轴承组件产品简介：应用于半导体晶圆真空传输机械手关节部位的精密支撑轴承组件，为机械手提供稳定、低摩擦、高精度的旋转支撑，确保晶圆传输过程平稳可靠，适用于高洁净、高真空环境。技术规格
- 材质：不锈钢本体 + 陶瓷滚珠
- 润滑形式：真空专用干式润滑
- 旋转精度：径向跳动≤0.002mm
- 工作温度：-20℃～120℃
- 适用真空度：≤1×10⁻⁹ Torr
- 使用寿命：≥100 万次旋转循环功能特点
- 超低摩擦阻力，运动无卡顿、无抖动
- 无油脂挥发，不产生颗粒污染，保持腔体高洁净度
- 高刚性结构，承载能力强，运行稳定不形变
- 抗腐蚀、耐等离子体环境，长期使用不老化
- 免维护设计，大幅降低设备停机维护时间应用场景
- 200mm/300mm 晶圆真空传输机械手关节
- Load Lock 与 Transfer Module 传输机构
- 半导体高端制程设备自动化搬运系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 