产品名称：高精度腔体温度传感器组件产品简介：用于半导体真空腔体、加热基座、反应腔内部的高精度温度检测元件，实时采集温度数据并反馈至控制系统，确保制程温度稳定均匀。技术规格
- 传感器类型：PT1000 铂电阻
- 测温范围：-50℃～800℃
- 测量精度：±0.1℃
- 响应时间：≤20ms
- 护套材质：316L 不锈钢
- 适用真空度：≤1×10⁻⁹ Torr功能特点
- 测温精度高，长期使用无零点漂移
- 真空密封结构，不破坏腔体真空状态
- 抗电磁干扰能力强，信号传输稳定
- 耐高温、耐化学腐蚀，适应恶劣制程环境
- 安装牢固，抗震抗振动，不易松动移位应用场景
- PVD、CVD、ALD 等薄膜沉积设备腔体测温
- 等离子体刻蚀设备加热区域温度监测
- 半导体高温制程工艺温度闭环控制系统
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 