产品名称：气体质量流量控制器控制阀组件产品简介：为半导体工艺气体质量流量控制器（MFC）配套的高精度控制阀，通过比例调节实现气体流量稳定输出，是气路控制系统的核心执行部件。技术规格
- 控制方式：电磁比例式控制
- 流量范围：5sccm～50slm
- 控制精度：±0.5% FS
- 响应时间：≤20ms
- 阀体材质：316L EP 级电解抛光不锈钢
- 密封材质：FFKM 全氟醚橡胶功能特点
- 流量调节线性度优异，输出无波动、无超调
- 超低死体积，避免气体残留与交叉污染
- 耐腐蚀性能强，兼容各类腐蚀性工艺气体
- 开关动作迅速，满足动态气体配比需求
- 结构紧凑，可直接集成于各类 MFC 模块应用场景
- CVD、Etch、ALD、离子注入设备工艺气路
- 高纯特种气体精密输送与配比系统
- 实验室及量产线气体流量控制单元
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 