产品名称：真空腔体内部定位导向环产品简介：用于半导体真空腔体内部晶圆传输、升降机构的精密导向与定位部件，保障晶圆在传输、升降过程中位置精准、无偏移、无划伤。技术规格
- 材质：防静电高纯陶瓷 / 阳极氧化铝
- 定位精度：±0.005mm
- 表面粗糙度：Ra≤0.2μm
- 工作温度：-20℃～300℃
- 适用真空度：≤1×10⁻⁹Torr
- 防静电值：10⁶～10⁹Ω功能特点
- 定位精准稳定，重复定位一致性高
- 表面光滑无毛刺，不划伤晶圆边缘
- 防静电处理，避免晶圆静电击穿损伤
- 超低释气、低粉尘，维持腔体高洁净环境
- 耐磨抗冲击，长期使用不变形、不偏移应用场景
- 刻蚀、PVD、CVD 腔体晶圆升降导向
- 真空传输腔、Load Lock 内部定位
- 200mm/300mm 晶圆制程设备导向系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 