产品名称：射频信号匹配单元组件产品简介：半导体射频制程系统核心匹配组件，用于射频电源与等离子体腔体之间的阻抗快速匹配，提升射频功率传输效率与等离子体稳定性。技术规格
- 频率范围：13.56MHz/2MHz/400kHz
- 匹配范围：5～500Ω
- 响应时间：≤50ms
- 耐压：≥5kV DC
- 绝缘电阻：≥10¹²Ω
- 工作温度：0℃～60℃功能特点
- 阻抗匹配快速精准，无打火、无反射
- 射频传输效率高，降低功率损耗
- 全隔离结构，抗电磁干扰能力强
- 具备过压、过流、过热多重保护
- 模块化设计，即插即用，维护便捷应用场景
- 等离子体刻蚀、PECVD、PVD 射频系统
- 半导体前道制程射频电源匹配单元
- 射频功率稳定传输与阻抗匹配系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 