产品名称：高纯工艺气体稳压阀组件产品简介：用于半导体工艺气路系统的高精度稳压控制部件，稳定气体输出压力，避免压力波动对制程造成影响，保障工艺稳定性。技术规格
- 控制压力：0.1～0.7MPa
- 稳压精度：±0.5% FS
- 阀体材质：316L EP 电解抛光不锈钢
- 密封材质：FFKM 全氟醚橡胶
- 泄漏率：≤1×10⁻⁹atm・cc/s
- 工作温度：-10℃～80℃功能特点
- 稳压响应迅速，输出压力无波动
- 耐腐蚀，兼容各类腐蚀性工艺气体
- 零泄漏密封设计，保障气路安全
- 超低死体积，无气体残留与交叉污染
- 结构紧凑，适合气路箱集成安装应用场景
- 半导体 CVD、Etch、ALD 工艺气路稳压
- 特种气体输送、混气系统压力控制
- 量产线与实验室高纯气路控制系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 