产品名称：设备气动系统气源处理单元产品简介：为半导体设备气动阀门、气缸、执行器提供净化、稳压、过滤的气源处理组件，保障气动系统稳定、洁净、可靠运行。技术规格
- 输入压力：0.5～1.0MPa
- 输出压力：0.35～0.8MPa 可调
- 过滤精度：0.01μm
- 排水方式：自动排水
- 工作温度：5℃～60℃
- 接口规格：1/4"、3/8" NPT功能特点
- 高效过滤粉尘、油雾、水分
- 输出压力稳定无波动
- 自动排水，无需人工干预
- 结构紧凑，集成度高
- 具备压力显示与过载保护应用场景
- 真空角阀、隔膜阀气动控制
- 机械手、腔体门气缸驱动
- 设备全厂气动系统气源处理
- 洁净车间仪表气源净化单元
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 