产品名称:真空规管信号处理模块产品简介:用于真空规管信号采集、放大、线性化处理与标准信号输出的专用调理模块,为设备控制系统提供稳定、标准的真空度信号。技术规格
- 输入信号:皮拉尼、电容规模拟信号
- 输出信号:4~20mA / 0~10V / RS485
- 精度:±0.25% FS
- 响应时间:≤10ms
- 供电电压:24V DC
- 隔离电压:≥2500Vrms功能特点
- 信号采集稳定,无噪声、无失真
- 全隔离设计,有效抑制电磁干扰
- 自动线性化校准,测量精度高
- 具备过流、反接、短路保护功能
- 体积小巧,可嵌入式安装应用场景
- 半导体腔体、管路真空监测系统
- 真空泵、分子泵真空状态检测
- 刻蚀、沉积、清洗设备真空控制单元




AMAT 0050-41405
AMAT 0050-07527
AMAT 0100-35057
AMAT 0020-34587