产品名称：腔体冷却水路接头组件产品简介：用于半导体真空腔体、射频模块、真空泵等发热部件冷却回路的专用密封接头，确保冷却水路无泄漏、低流阻、高可靠性。技术规格
- 材质：316L 不锈钢
- 连接形式：VCR / 双卡套式
- 工作压力：≤1.0MPa
- 工作温度：-20℃～120℃
- 密封材质：全氟醚橡胶
- 泄漏率：≤1×10⁻⁹ atm・cc/s功能特点
- 密封可靠，长期使用无渗漏
- 流道光滑，冷却效率高
- 耐腐蚀、防结垢，适应循环水工况
- 拆装便捷，可重复使用
- 结构强度高，抗振动、抗冲击应用场景
- 真空腔体外壁冷却水路
- 射频电源、匹配网络散热系统
- 分子泵、干泵冷却循环回路
- 半导体设备温控散热系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 