产品名称：腔体内部精密定位销组件产品简介：用于半导体真空腔体内部喷淋头、内衬、屏蔽件等部件的高精度定位结构件，确保装配位置精准、密封可靠、长期运行无偏移。技术规格
- 材质：316L 不锈钢
- 定位精度：±0.005mm
- 表面硬度：≥HRC 55
- 表面粗糙度：Ra≤0.2μm
- 工作温度：-20℃～150℃
- 适用真空度：≤1×10⁻⁹ Torr功能特点
- 定位精准可靠，重复拆装不降低精度
- 高强度耐磨，长期使用不磨损、不变形
- 超低释气，不污染腔体高洁净环境
- 抗振动、抗冲击，适配设备连续运行
- 标准化尺寸，互换性强应用场景
- 真空反应腔、传输腔内部组件定位
- 腔体法兰、喷淋头、内衬定位固定
- 半导体高真空设备精密装配系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 