产品名称：气体质量流量控制器总成产品简介：集成传感、控制、执行于一体的高精度气体流量控制装置，用于半导体工艺气体的精密计量、调节与稳定输出，是气路控制系统核心部件。技术规格
- 控制方式：全数字闭环控制
- 流量范围：5sccm～50slm
- 控制精度：±0.5% FS
- 响应时间：≤20ms
- 阀体材质：316L EP 不锈钢
- 密封材质：FFKM 全氟醚橡胶
- 通信接口：RS485、DeviceNet、模拟量功能特点
- 流量输出稳定，无波动、无超调
- 快速响应，满足动态气体配比需求
- 耐腐蚀，兼容各类危险与腐蚀性气体
- 支持远程校准、参数配置与故障诊断
- 模块化设计，即插即用应用场景
- 半导体 CVD、ALD、Etch、离子注入设备气路
- 高纯气体混气、配比、输送系统
- 实验室与量产线流量控制单元
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 