产品名称：晶圆升降导向套筒组件产品简介：用于晶圆升降销的精密导向与支撑部件，保证升降销垂直运动、无偏摆、无卡顿、低粉尘，适用于高真空高温制程环境。技术规格
- 材质：自润滑陶瓷 / 316L 不锈钢
- 内孔精度：≤0.003mm
- 表面粗糙度：Ra≤0.1μm
- 工作温度：-20℃～350℃
- 适用真空度：≤1×10⁻⁹ Torr
- 适配销径：3mm～6mm功能特点
- 自润滑结构，无需油脂，无腔体污染
- 低摩擦、低粉尘、高耐磨
- 导向精度高，运行平稳无抖动
- 耐高温冲击，长期使用不变形
- 易于拆装维护应用场景
- 加热基座、静电卡盘升降销导向
- 刻蚀、沉积、离子注入腔体升降机构
- 高真空晶圆支撑与传输系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 