产品名称：真空气动角阀执行器组件产品简介：半导体高真空角阀专用气动驱动执行机构，为真空阀门提供快速、稳定、可靠的开关动作，适配高纯气体与真空管路系统。技术规格
- 驱动形式：气动双作用 / 单作用
- 工作气压：0.4～0.8MPa
- 开关时间：≤0.5s
- 适用阀门口径：1/4"～1"
- 密封材质：FFKM 全氟醚橡胶
- 动作寿命：≥100 万次功能特点
- 动作快速平稳，无冲击、无卡滞
- 零泄漏密封设计，满足超高真空要求
- 耐腐蚀，兼容各类腐蚀性工艺气体
- 具备阀门位置反馈信号输出
- 结构紧凑，适合狭小空间安装应用场景
- 半导体真空腔体、Load Lock 真空通道控制
- 工艺气体管路、真空管路阀门驱动
- CVD、刻蚀、PVD 设备真空与气路控制系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 