产品名称：加热电极绝缘支撑基座产品简介：用于半导体真空腔体内部加热电极与腔体外壳之间的绝缘支撑部件，提供高压电气隔离与结构固定，适用于高温、高真空、高电压复合工况。技术规格
- 材质：高纯氧化铝陶瓷
- 绝缘电阻：≥10¹² Ω
- 额定耐压：≥5 kV DC
- 工作温度：-20℃～600℃
- 适用真空度：≤1×10⁻⁹ Torr
- 平面度：≤0.01 mm功能特点
- 高压绝缘性能稳定，杜绝漏电、击穿、打火现象
- 耐高温与冷热冲击，长期使用不开裂、不变形
- 超低释气率，维持腔体高洁净工艺环境
- 机械强度高，抗震抗压，支撑稳定可靠
- 精密尺寸加工，装配一致性与互换性强应用场景
- PVD、CVD、ALD 腔体加热电极绝缘支撑
- 等离子体刻蚀设备高温高压绝缘部件
- 半导体高真空腔体电气绝缘系统
AMAT 0050-41405 
AMAT 0050-07527 
AMAT 0100-35057 
AMAT 0020-34587 