产品名称：真空密封夹具 / 夹紧环组件产品简介：用于腔体内部件定位、密封与夹紧的高精度结构件，保证真空密封可靠性、部件同轴度与工艺压力下的稳定性。技术规格
- 材质：6061/7075 航空铝合金、不锈钢、PEEK / 陶瓷
- 夹紧力：均匀分布，可调范围大
- 密封配合：适配 O 型圈 / 金属密封结构
- 公差等级：IT7 精密级加工
- 真空性能：漏率≤1×10⁻⁹ Torr・L/s功能特点
- 夹紧均匀，防止局部应力导致变形
- 真空密封可靠，无泄漏、无放气
- 耐高温、耐化学腐蚀、耐等离子体
- 拆装便捷，重复定位精度高
- 低污染、低释气，适配超高真空环境应用场景
- 真空腔体门、观察窗、电极、喷淋头密封固定
- 晶圆基座、加热台、静电吸盘夹紧定位
- 超高真空 UHV 工艺系统
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 