产品名称：高压气体 / 真空管路接头组件产品简介：半导体气路系统专用精密接头，用于工艺气体、冷却水路、真空管路的密封连接，保证无泄漏、无污染、高可靠性。技术规格
- 材质：316L VIM/VAR 高纯不锈钢、黄铜、PFA
- 连接方式：双卡套 / 焊接 / 快插结构
- 耐压等级：气体≥20MPa，真空≤1×10⁻⁹ Torr
- 洁净等级：EP/BA 级电解抛光，去油脱脂
- 适用介质：惰性气体、腐蚀性气体、去离子水、真空功能特点
- 密封可靠，终身免维护泄漏
- 高纯材质，无析出、无挥发污染
- 耐高低温、耐化学腐蚀
- 安装便捷，重复拆装不影响密封
- 适配特气系统、真空系统、冷却系统应用场景
- 半导体特气柜、VMB 阀门箱、MFC 流量计管路
- 真空机组、工艺腔体、尾气处理管路
- 12 英寸晶圆厂高纯工艺介质输送系统
AMAT 3750-01013 
AMAT 0010-24299 
AMAT 326426R06-PJ 
AMAT 0200-08346 